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中晟光電ProMaxy 168 MOCVD設備獲評《創新技術推薦獎》

2017-04-05

近日,中晟光電的高產能ProMaxy ?168 MOCVD設備在上海市半導體照明工程協會組織的2016年度評獎中從20多項產品和技術中脫穎而出,獲評《創新技術推薦獎》。

自2012年中晟光電在國內率先推出具有自主知識產權的ProMaxy ? MOCVD設備,獲得行業的廣泛認可,目前已經出貨20余臺套。為滿足客戶對LED外延生產成本持續降低的要求,中晟光電2016年推出新一代高產能ProMaxy ? 168型MOCVD設備。該機型借助陀螺自平衡原理和高速旋轉技術獲得最大的托盤尺寸,單腔產能最高可達36片/4英寸(國外同類產品單腔產能31片/4英寸)。配合公司專利技術的多腔系統,實現了LED芯片生產全行業最高系統產能144片/4英寸。外延生產綜合成本得到顯著降低。產品一經推出即受到行業的廣泛關注。目前已有客戶試用,效果良好。

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